VIGOR Product Express|Strømningsbryter VEFS2-serien

Drevet av kunstig intelligens, høy-databehandling (HPC), bilelektronikk og Internet of Things-applikasjoner, gjennomgår halvlederindustrien en rask transformasjon. Denne bemerkelsesverdige veksten har imidlertid også introdusert nye operasjonelle utfordringer. Ettersom produksjonsskalaen utvides med en enestående hastighet, er høyrisiko spesialgasser som silan og fosfin mye brukt i halvlederfabrikker. Enhver ukontrollert gasslekkasje forårsaket av rørledningsbrudd, løse koblinger, tetningssvikt eller feil installasjon kan raskt eskalere til en alvorlig sikkerhetshendelse, truer personellsikkerheten, skade kritisk produksjonsutstyr og forårsake kostbar uplanlagt nedetid. På denne bakgrunnen har VIGOURs Excess Flow Switch (EFS), med sin rent mekaniske aktiveringsdesign og eksepsjonelle ultra-high-renhet (UHP) kompatibilitet, blitt en uunnværlig sikkerhetstiltak for spesialgassforsyningssystemer, inkludert gasskabinetter og VMB-er, i halvlederproduksjon over hele verden.

Kjernedesignprinsippet til VIGOR EFS er å oppdage unormale strømningsforhold og reagere pålitelig. Når en nedstrøms rørledningsfeil resulterer i en plutselig og overdreven strømningsstigning som overskrider det forhåndsinnstilte kritiske utløsningspunktet, utløser enheten umiddelbart et responssignal. Dette signalet overføres gjennom åpning eller lukking av elektriske kontakter i den innebygde -reedbryteren, som deretter synkroniseres og sendes til SCADA-systemet eller Gassovervåkingssystemet (GMS). Ved å gi sanntids-varsler og muliggjøre raske automatiserte svar, støtter den proaktiv sikkerhetsstyring, reduserer potensielle farer effektivt og styrker den generelle påliteligheten til gassleveringsnettverket.

I halvlederproduksjonsprosesser kan hver komponent i gasssystemet bli en potensiell kilde til forurensning. Selv små partikler, metalliske urenheter eller overflateadsorpsjon kan kompromittere waferkvaliteten og redusere produksjonsutbyttet. Derfor følger VIGOR strengt de strenge standardene til halvlederindustrien for å sikre materialrenhet, overflaterenhet og driftsstabilitet.

Når det gjelder materialstandarder, bruker VIGOR utelukkende 316L rustfritt stål produsert gjennom VIM/VAR dobbel-smelteteknologi. Denne avanserte metallurgiske prosessen reduserer metalliske inneslutninger og gjenværende urenheter betydelig, og sikrer utmerket korrosjonsbestandighet og minimerer risikoen for gassforurensning. For overflatebehandling gjennomgår alle produkter avansert elektropolering (EP), og opprettholder en indre overflateruhet på 5–10 μin. Et slikt glatt, rent interiør forhindrer gassmolekyler i å adsorbere på de indre veggene og eliminerer partikkelutfelling, og støtter stabil og forurensningsfri gasslevering.

Videre tilbyr VIGOR EFS et bredt utvalg av kritiske turpunkter og fleksible konfigurasjonsalternativer for å passe ulike bruksscenarier. Gjennom enkel parametertilpasning kan brukere enkelt bestemme den nøyaktige modellen basert på spesifikke gasstyper, driftstrykkforhold og maksimalt tillatte strømningshastigheter. Denne høye graden av tilpasning sikrer presis og pålitelig over-strømningsbeskyttelse for ulike gassapplikasjoner med ultra-høy-renhet i moderne halvlederproduksjon.

  Strømningsbryter for bruk med høy flyt

 Tilgjengelig med horisontal eller vertikal hovedlinje

 Minimalt trykkfall gjennom enheten

 SS 316L rustfritt stål